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[发明专利]去激光损伤层洗液-CN201110032192.0有效
发明人：黄书斌 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-01-29 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池制作技术，尤其是一种去激光损伤的洗液，由水、氟化铵、氢氟酸和硝酸组成，在1L水中加入60-80g氟化铵、10-20ml氢氟酸溶液和10-20ml硝酸溶液混合制成，采用本发明的洗液可以有效的去除硅片表面的硅的氧化物和大部分的金属元素
激光损伤层洗液

[发明专利]修复介质层损伤的方法-CN201210185018.4无效
发明人：张海洋;胡敏达 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-06-06 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种修复介质层损伤的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成介质层，所述介质层的材料是低k介质材料或超低k介质材料，在所述介质层内形成互连结构，其中在形成互连结构的过程中产生介质层损伤；在等离子体处理室内通入包括He和H2的等离子体，对形成互连结构的衬底进行等离子体处理，以修复介质层损伤。本发明通过对受到低k损伤的介质层进行He/H2等离子体处理，可以提高介质材料的孔隙率，降低介质材料的k值，修复介质层损伤，从而减小RC延迟。
修复介质损伤方法

[发明专利]一种复合材料层合板冲击损伤评估方法-CN202110569361.8在审
发明人：郑达;钟小丹;包飞;王进;付建伟;姜野 -专利权人：中国航空工业集团公司沈阳飞机设计研究所
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本申请属于复合材料层合板冲击损伤评估领域，具体涉及一种复合材料层合板冲击损伤评估方法，包括：当量化复合材料层合板冲击损伤的凹坑区域；当量化复合材料层合板冲击损伤的凹坑损伤区域；当量化复合材料层合板冲击损伤的分层损伤区域；基于当量化的凹坑区域、凹坑损伤区域、分层损伤区域构建复合材料层合板冲击损伤有限元分析模型，对复合材料层合板冲击损伤进行评估。
一种复合材料合板冲击损伤评估方法

[发明专利]半导体器件的制备方法-CN202110350046.6在审
发明人：郑柳;刘敏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件的制备方法，包括：提供一衬底，衬底具有损伤层；至少进行1次去除损伤层步骤，以去除损伤层；去除损伤层步骤，包括：于衬底的损伤层处的表面形成金属层；对金属层处进行激光退火处理，以使金属层与损伤层反应生成金属化合物层；去除金属化合物层。解决了现有技术中衬底上具有损伤层的技术问题，实现了提高衬底背面欧姆接触性能和可靠性的技术效果。
半导体器件制备方法

[实用新型]低温低损伤膜层沉积系统-CN201720452553.X有效
发明人：王开安;克雷格·马里恩;艾凡·贝拉斯克斯;黄仲漩;丁坤宝;孙静茹 -专利权人：奥昱新材料技术（嘉兴）有限公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低温低损伤膜层沉积系统。主要包括优化的磁控溅射沉积源，所述磁控溅射沉积源包括支撑框架、溅射靶材、磁体、壳体单元。
低温损伤沉积系统

[发明专利]一种复合单晶压电基板及其制备方法-CN202010555085.5在审
发明人：李真宇;张秀全;李洋洋;张涛;王金翠 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种复合单晶压电基板及其制备方法，所述复合单晶压电基板包括依次叠加的衬底层、损伤层、二氧化硅层和单晶压电层，其中，所述损伤层包覆于所述衬底层内部，并且，损伤层‑二氧化硅层的界面与衬底层‑二氧化硅层的界面共面，所述结构损伤由激光刻蚀形成，能够捕获载流子，从而削弱甚至消除信号损耗，本申请提供的方法首先在衬底层上利用热氧化的方法制备二氧化硅层，再通过激光刻蚀的方法在衬底层‑二氧化硅层界面处制备损伤层，并使所述损伤层完全位于衬底层中，将热氧化步骤设置于制备损伤层之前，能够有效避免热氧化工艺对损伤层中损伤的恢复，从而保证损伤层具有较高的捕获载流子的能力。
一种复合压电及其制备方法

[发明专利]一种基于多主体协作的大型复杂结构健康监测系统-CN201610841014.5在审
发明人：孙红兵;熊树;戴金桥;陈勇;俞阿龙 -专利权人：淮阴师范学院
申请日： 2016-09-22 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多主体协作的大型复杂结构健康监测系统，包括数据监测层、数据解释层、损伤诊断层、信息融合层以及输入输出层，数据监测层、数据解释层、损伤诊断层、信息融合层和输入输出层依次相连，数据监测层将采集到的结构健康状况信息发送至数据解释层，数据解释层从结构健康状况信息中提取结构损伤特征参数，并将获取的结构损伤特征参数发送至损伤诊断层，损伤诊断层将评估结果发送至信息融合层，信息融合层对结构损伤评估结果进行融合与决策，获得结构的整体损伤状况，并将结构的整体损伤状况发送至输入输出层。
一种基于主体协作大型复杂结构健康监测系统

[发明专利]含惰性气体原子的晶格损伤层的重结晶方法-CN202111105985.0在审
发明人：何力;骆军委;温书育;朱元昊;刘昊文;管闪 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/208 文献下载
摘要：本发明公开了一种含惰性气体原子的晶格损伤层的重结晶方法，包括：制备一种表面具有晶格损伤的晶体材料，其中，晶体材料的晶格损伤层含有惰性气体原子；利用脉冲激光对晶格损伤层进行辐照使晶格损伤层熔融；通过液相外延生长，获得晶格损伤层的重结晶。
惰性气体原子晶格损伤重结晶方法

[发明专利]半导体器件的制备方法-CN202110350009.5在审
发明人：郑柳;刘敏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件的制备方法，包括：提供一衬底，衬底具有损伤层；至少进行1次去除损伤层步骤，以去除损伤层；去除损伤层步骤，包括：于第一元素单质气体氛围中对衬底的损伤层处进行激光退火处理，以使第一元素单质气体与损伤层反应生成含第一元素的化合物层；去除化合物层。解决了现有技术中衬底上具有损伤层的技术问题，实现了提高衬底背面欧姆接触性能和可靠性的技术效果。
半导体器件制备方法

[发明专利]复合材料层合板准静态压痕过程损伤量化方法-CN202010998302.8有效
发明人：何晶靖;王海旭 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明提供了一种复合材料层合板准静态压痕过程损伤量化方法，该方法包括：对复合材料层合板准静态压痕过程进行数值模拟，获取分层损伤和基体开裂损伤的损伤能量和损伤面积变化情况，对复合材料层合板准静态压痕过程进行试验，采用K‑Means聚类分析分层损伤和基体开裂损伤的声发射能量变化情况，构建声发射能量‑损伤能量模型，构建损伤能量‑损伤面积模型，融合构建声发射能量‑损伤面积模型。本发明考虑了复合材料层合板在准静态压痕过程中的不同损伤产生的声发射能量和损伤能量，构建了声发射能量与损伤面积直接关系模型，用于在实际使用中量化分析复合材料层合板损伤情况，工程适用性强。
复合材料合板静态压痕过程损伤量化方法

[发明专利]一种基于热塑性材料层合板透光性特点的无损检测方法-CN202211359404.0在审
发明人：陈占锋;黄亚鹏;李彦;李绪尧;梁益帆;王文;杨贺;王传勇;卢科青 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热塑性材料层合板透光性特点的无损检测方法。目前对于复合材料进行无损检测的方法检测效率低，且检测成本高。本发明通过相机拍摄光源照射下的层合板，使用自适应阈值二值化算法分离层合板整体的损伤区域与未损伤区域，并使用图像融合与遗传算法结合来处理损伤区域边缘，得到准确的层合板整体损伤区域；使用OpenCV数据库处理不同光源亮度下获得的各成像照片，分离出层合板每一层的损伤区域完整图像，然后使用双曲正切函数对相同层的各组损伤区域完整图像边缘部分进行拟合，得到层合板每一层的损伤区域高清图像，最后叠加层合板每一层的损伤区域高清图像，得到层合板的3D损伤模型
一种基于塑性材料合板透光特点无损检测方法

[发明专利]一种以分层面积作为评估指标的含分层损伤层合板损伤容限表征方法-CN202010252356.X有效
发明人：赵丽滨;王康康;骈瑢 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种以分层面积作为评估指标的含分层损伤层合板损伤容限表征方法，包括以下步骤：(1)基于含分层损伤复合材料层合板的边界条件和分层损伤参数建立其数学模型；(2)基于里兹法假设层合板变形场的形函数，并结合一阶剪切变形理论进行层合板的屈曲过程和屈曲载荷求解；(3)基于断裂力学方法预测层合板内部分层损伤的扩展过程及其失效载荷；(4)以分层面积作为评估指标，将含不同分层损伤的层合板的屈曲和失效载荷进行线性拟合得到含分层损伤层合板损伤容限的表征关系式本发明基于理论方法预测含分层损伤层合板的屈曲、分层扩展和失效过程，并采用分层面积作为评估指标来对含分层损伤的层合板损伤容限进行表征，可显著提高计算效率，降低试验成本。
一种分层面积作为评估指标损伤合板容限表征方法

[实用新型]管道载体雷达损伤检测系统-CN202020339785.6有效
发明人：仇玉明;张立军;汪民辉 -专利权人：北京中盾讯达科技有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01V3/12 文献下载
摘要：管道载体雷达损伤检测系统，涉及埋地管路损伤检测技术领域。包括用于向金属管道发出雷达波信号的雷达站、用于接收金属管道上雷达波信号的分布式雷达接收机、用于接收雷达接收机发送的数据并分析找到管道外防腐层损伤位置的处理器、用于对防腐层损伤位置的金属管道进行探测扫描、并确定金属管道的金属层的损伤位置、类型及损伤的程度的管道损伤检测仪。本实用新型通过雷达站和分布式雷达接收机配合找到金属管道外防腐层的损伤位置，再通过管道损伤检测仪防腐层损伤位置的金属管道进行探测扫描，确认金属层的损伤的类型和损伤的位置以及损伤的程度，达到防患于未然的目的
管道载体雷达损伤检测系统

[发明专利]形成金刚石产品的方法-CN202180016418.X在审
发明人： J·J·图里;S·J·柯比;J·V·麦克弗森;M·E·牛顿;M·L·玛尔卡哈姆 -专利权人：六号元素技术有限公司;沃里克大学
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：提供金刚石材料并且在该材料中形成包含sp2键合碳的损伤层。损伤层的存在限定了在损伤层上方并与损伤层接触的第一金刚石层以及在损伤层下方并与损伤层接触的第二金刚石层。电化学刻蚀所述损伤层以便将其与第一层分离，其中在含有离子的溶液中进行电化学刻蚀，该溶液的电导率为至少500μS cm‑1，并且其中所述离子能够在电解期间形成自由基
形成金刚石产品方法

[发明专利]一种光学微纳结构的制备方法-CN202110400994.6在审
发明人：欧欣;王成立;伊艾伦;沈晨;张加祥 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种光学微纳结构的制备方法，通过获取异质复合衬底；异质复合衬底从上至下依次包括薄膜层、绝缘层和支撑衬底；薄膜层由硅材料制成；对异质复合衬底进行离子束切割，得到光学微纳结构；光学微纳结构包括由于离子束切割造成的损伤层，损伤层位于薄膜层；对光学微纳结构进行退火处理，于损伤层的位置处形成二氧化硅层；二氧化硅层的厚度大于损伤层的厚度；去除二氧化硅层，使得损伤层一并去除，得到未被损伤的光学微纳结构。如此，可有效去除离子束对材料的损伤，从而得到高性能光学微纳结构。
一种光学结构制备方法

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